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研磨用组合物、研磨方法以及硬脆材料基板的制造方法

861   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:06
本发明涉及一种研磨用组合物，其特征在于，其用于研磨包含金属或半金属的氧化物或者它们的复合材料的研磨对象物的表面，且至少含有水和二氧化硅，二氧化硅包含粒径为20nm以上且70nm以下的小粒径二氧化硅和粒径为100nm以上且200nm以下的大粒径二氧化硅，小粒径二氧化硅在前述研磨用组合物中含有2质量％以上，大粒径二氧化硅在研磨用组合物中含有2质量％以上，大粒径二氧化硅的平均粒径除以小粒径二氧化硅的平均粒径的值为2以上。
声明：
“研磨用组合物、研磨方法以及硬脆材料基板的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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