本发明涉及气敏元件的制备,更涉及一种平面半导体气体传感器
芯片及其制备方法。所述方法是将介孔Pd‑SnO
2复合材料悬浊液滴加到叉指电极上,进行煅烧,再经冷却后即得。本发明提供的半导体气体传感器电阻下降至1M以下,气敏响应上升至90%以上;同一批次样品同一煅烧温度下气敏元件电阻相差不大,满足后续
仪器仪表要求的一致性,节约时间、成本等;所述气体传感器芯片对H
2有较好的稳定性;增强了芯片表面材料的稳固性,使其在后续仪器仪表组装、封装过程中气敏材料不容易掉落;所述气体传感器芯片真空无氧煅烧后电极钝化,使其不受外界环境影响。
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