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平面半导体气体传感器芯片及其制备方法

927   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:43:36
本发明涉及气敏元件的制备，更涉及一种平面半导体气体传感器芯片及其制备方法。所述方法是将介孔Pd‑SnO2复合材料悬浊液滴加到叉指电极上，进行煅烧，再经冷却后即得。本发明提供的半导体气体传感器电阻下降至1M以下，气敏响应上升至90％以上；同一批次样品同一煅烧温度下气敏元件电阻相差不大，满足后续仪器仪表要求的一致性，节约时间、成本等；所述气体传感器芯片对H2有较好的稳定性；增强了芯片表面材料的稳固性，使其在后续仪器仪表组装、封装过程中气敏材料不容易掉落；所述气体传感器芯片真空无氧煅烧后电极钝化，使其不受外界环境影响。
声明：
“平面半导体气体传感器芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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