E102A全自动银浆装片机是一款专为集成电路(包括消费电子和汽车电子)设计的高稳定性、高精度、高效率的全自动装片设备。它支持6到12寸的晶圆和0.15mm0.15mm至20mm20mm的芯片尺寸,成功实现了中高端装片机的技术国产化,满足终端用户对高生产效率和高产品一致性的需求。
E102A的高产出率达到了每小时25K(UPH: 25K),并且具有极高的兼容性,能够兼容12寸以下的晶圆和多种尺寸及型号的框架。设备的高可靠性体现在进料前框架防呆检测、胶量在线检测及自动补偿、装片后在线检测芯片位置及修正等功能上。
全自动银浆装片机 E102A
E102A是一款可实现高稳定性、高精度、高效率的全自动装片设备,为集成电路(主要包括消费电子及汽车电子等)提供高质和高效的装片方案。晶圆尺寸:6-12寸,芯片尺寸:0.15mm * 0.15mm~ 20mm*20mm,高端平替,实现了中高端装片机的技术国产化,满足终端用户对高生产效率、高产品一致性的设备需求。
设备优点:
高产出率:UPH:25K
高兼容性:兼容“12”寸以下晶圆,兼容多种尺寸及型号框架
高可靠性:进料前框架防呆检测,胶量在线检测以及自动补偿,装片后在线检测芯片位置及修正
高便捷性:切换框架尺寸时,轨道自动调整,可选配实现全自动晶圆上料