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设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道

935   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:23:08
本实用新型公开了一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道，包括抽空管道和防漏硅内衬管，所述防漏硅内衬管插入所述抽空管道内，并与所述抽空管道的内壁贴合；所述防漏硅内衬管为碳‑碳复合材料制成的内衬管，并且所述防漏硅内衬管一端设置有外凸的限位环；所述防漏硅内衬管插入所述抽空管道与单晶炉炉体连接的一端内，并通过所述限位环进行限位。本实用新型的防漏硅内衬管采用碳‑碳复合材料，具有超强的耐高温性和良好的热膨胀系数，在直接接触硅液后不存在烫漏和急剧收缩而破损的现象，避免损伤电器等部件，从而有效降低事故造成的财产损失和对现场工作人员的安全风险。
声明：
“设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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