合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 复合材料技术

> 板式PECVD系统中的镀膜载板部件

板式PECVD系统中的镀膜载板部件

911   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:47:17
本实用新型提供了一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件，包括镀膜载板、两根石墨导轨、两根碳‑碳复合材料导轨、碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母；镀膜载板的设置有内六角沉头式通孔的边部、石墨导轨、碳‑碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母连接在一起；碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母在酸洗过程中不会被氢氟酸腐蚀；碳‑碳复合材料螺杆的机加工难度、机加工工作量以及切削量均比较小；内六角沉头式通孔与碳‑碳复合材料六角螺母均为六角结构，可以卡着固定碳‑碳复合材料六角螺母，可以定位与卡位，在上下方向上对齐摆正，提高了安装精度。
声明：
“板式PECVD系统中的镀膜载板部件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
复合材料
上一个：压花反射层压板
下一个：负极活性材料及其制备及应用

与 “板式PECVD系统中的镀膜载板部件” 相关技术

▪ 斗轮上料磁选车
▪ 新型重金属螯合絮凝剂的制备技术
▪ 活塞式内燃机中活塞环用合金材料
▪ 降低铝电解阳极效应的控制方法
▪ 稀土绿色萃取分离技术
▪ 年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪ 低成本太阳能多晶硅制备技术
▪ 用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪ 具有除铁功能的粉碎机
▪ 具有防尘效果的振动筛下料装置

相关复合材料设备推荐

小型龙门式搅拌摩擦焊设备
双机头搅拌摩擦焊设备
纯铅管
粉末材料燃气火焰球化装备
高压水雾化制备粉末材料生产装备
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪斗轮上料磁选车
▪新型重金属螯合絮凝剂的制备技术
▪活塞式内燃机中活塞环用合金材料
▪降低铝电解阳极效应的控制方法
▪稀土绿色萃取分离技术
▪年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪低成本太阳能多晶硅制备技术
▪用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪具有除铁功能的粉碎机
▪具有防尘效果的振动筛下料装置

报名参会
更多+

中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月16日 ~ 18日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
7 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
8 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记