本发明一种真空环境下
复合材料尺寸变化量测量装置,包括激光头、真空罐、光学窗口、温控舱、分光镜、第一线性反射镜、第二线性反射镜、被测件;激光头放置于真空罐外,在真空罐的一侧开有光学窗口,控温套、分光镜、第一线性反射镜、第二线性反射镜、被测件均放置于真空罐内;分光镜、第一线性反射镜、第二线性反射镜、被测件均放置在控温套内;分光镜、第一线性反射镜、第二线性反射镜均放置于被测件上;激光头、光学窗口、分光镜、第二线性反射镜同轴放置。本发明能够实现1nm分辨率的长度测量,可以满足目前航天遥感器的高精度装调要求。
声明:
“真空环境下复合材料尺寸变化量测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)