本发明涉及一种SnSe/SnO2/Gr
复合材料的制备方法、MEMS氨气传感器及其应用,属于MEMS气体传感器技术领域。本发明包括以下步骤:将SnCl2·2H2O、NaOH、Se、NaBH4,搅拌加热,干燥得到SnSe纳米粒子;溶解,高温保存后,暴露在空气中,冷却到室温,离心洗涤干燥,得到SnSe/SnO2纳米粒子;将浓硫酸置于冰水浴中,加入石墨粉和硝酸钠,加入高锰酸钾,去除冰水浴,加入双氧水,后处理得到GO粉末;制成悬浮液,加入到SnSe/SnO2溶液中,加入十六烷基三甲基溴化铵,离心干燥,高温加热,冷却。本发明制得的MEMS氨气传感器灵敏度高、响应恢复时间快、选择性高。
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“SnSe/SnO2/Gr复合材料的制备方法、MEMS氨气传感器及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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