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半导体大功率器件用铜-钼铜-铜复合材料及其制备方法

906   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:09:01
本发明公开了一种半导体大功率器件用铜‑钼铜‑铜复合材料及其制备方法，包括如下步骤：⑴在石墨烯的表面化学镀铜并烘干；⑵将纯铜粉、钼粉和镀铜石墨烯粉末混合均匀后轧制成钼铜生坯；⑶将纯铜粉与镀铜石墨烯粉末混合均匀后轧制成铜生坯；⑷将钼铜生坯烧结成型；⑸轧制钼铜烧结坯使其厚度变形量达到40%以上；⑹在钼铜合金的上下表面各放一层铜生坯，然后烧结成型并随炉冷却；⑺将铜‑钼铜‑铜复合烧结坯进行双衬板冷轧成型，总厚度变形量控制在10～35%；⑻将复合终轧坯去应力退火。铜层和钼铜层中分别含有0.05～0.5%石墨烯，石墨烯以表面化学镀铜的形式加入，且钼铜层中含5～30%铜。该复合材料在保持高导电性能的基础上，显著提高了强度和导热性能。
声明：
“半导体大功率器件用铜-钼铜-铜复合材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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