本发明涉及电弧离子镀技术领域,具体涉及一种金刚石增强
复合材料的电弧离子镀方法,包括下列步骤:(1)衬底准备:衬底是作为复合材料依附其上,完成生长的支撑;(2)金刚石颗粒的准备;(3)抽真空;(4)加热;(5)通入工艺气体;(6)膜层沉积;(7)衬底表面布置金刚石颗粒;(8)重复步骤(6)至(7);(9)热处理,本发明利用电弧离子镀技术制备金刚石增强复合材料的基体,使基体材料种类从金属扩展至氮化物、碳化物等陶瓷材料,提高了金刚石增强复合材料的性能。
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