权利要求
1.钼合金靶材的制备方法，包括如下步骤： (1)配制原料：按照所述靶材各元素质量配比称取原料进行混合，得到混合粉末；其中，以质量百分数计，所述靶材包括如下成分，Ni：10％～30％，Ti：5％～25％，W：1％～20％和Re：0.5％～5％，余量为Mo和不可避免的杂质，且Mo的质量百分比≥50％； (2)冷等静压：将步骤(1)中的混合粉末装入模具，进行冷等静压，得到冷压坯体； (3)热等静压：将冷压坯体装入包套，进行热等静压，得到带包套的热压坯体； (4)热轧：将热压坯体的包套去除后，使用金属板包覆热压坯体，然后进行热轧处理，热轧后去除钼板，得到轧件； (5)退火：对轧件进行退火处理，得到所述钼合金靶材。2.如权利要求1所述的钼合金靶材的制备方法，其特征在于，以质量百分数计，所述靶材还包括0.01％-15％的M，所述M为Cr、Zr、Ta、Nb中的至少一种，所述M用于替代部分Ti；优选地，以质量百分数计，所述靶材包括Ni：15％～25％，Ti：10％～20％，W：1％～10％，Re：1％～5％和M：0％-5％，余量为Mo和不可避免的杂质，且Mo的质量百分比≥50％。 3.如权利要求1所述的钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述靶材中成分Mo的原料为纯度≥3N5的钼粉，其费氏粒度范围优选为2.5μm～4μm；优选地，所述靶材中成分Ni的原料为纯度≥3N的镍粉，其费氏粒度范围优选为2μm～3μm；优选地，所述靶材中成分Ti的原料为纯度≥3N的钛粉，其费氏粒度范围优选为2μm～4μm；优选地，所述靶材中成分W的原料为纯度≥3N5的钨粉，其费氏粒度优选为粒度2.0μm～3.0μm；优选地，所述靶材成分Re的原料为铼粉或铼酸铵，所述铼粉的纯度≥4N，费氏粒度优选为2μm～4μm，所述铼酸铵纯度≥4N，粒度优选为150～350目。 4.如权利要求1所述的钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述钼合金靶材中铼元素是以钨铼合金粉末的形式加入；所述钨铼合金粉末是将原料中的钨粉与铼酸铵混合后经还原处理获得；优选地，所述钨铼合金粉末的钨铼质量比为95:5～50:50；优选地，所述还原处理在氢气气氛中进行，所述还原处理的温度为500℃～900℃，所述还原处理的时间为2h～8h。 5.如权利要求1所述
声明：
“钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：安泰天龙（北京）钨钼科技有限公司 安泰天龙钨钼科技有限公司 安泰科技股份有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
