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多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构

876   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:28:02
本实用新型涉及一种多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构，该加热带 结构包括石墨头，石墨垫块、碳/碳复合材料加热带和紧固螺栓，所述碳/碳复合 材料加热带整体弯制成拱门形，碳/碳复合材料加热带的两个端头被石墨头和石 墨垫块夹持，并通过紧固螺栓固定，所述碳/碳复合材料加热带的截面形状为折 角形或弧形。本实用新型多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构的有益效果 是，折角形或弧形的横截面型式增加了加热带的抗弯模量，有效防止了由于加 热带弯曲、倒伏产生的电极短路现象，同时能够起到对气体的引流作用，使气 体沿加热带向上运动，延长了混合气体在氢化炉内的反应时间，提高了SiHCl3 的产率，保证设备的稳定运行。
声明：
“多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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