本发明公开了一种新型双层磁性绝缘硅
复合材料及其制备方法,包含由磁性层和绝缘层组成的中间层;所述中间层的上表面和下表面分别设置有单晶硅片;所述绝缘层,包含二氧化硅基多元复合材料层;所述二氧化硅基多元复合材料层的上表面设置有磁性层;所述磁性层的上表面设置有第一二氧化硅膜层;所述二氧化硅基多元复合材料层的下表面设置有第二二氧化硅膜层;本发明的新型双层磁性绝缘硅复合材料具有完整的单晶硅晶格结构,所述磁性层和绝缘层的各组分的厚度和深度分布可调,制成的产品同时具有电学和磁性性能,且性能优良,不需采用复杂昂贵设备,整体制备工艺简单、易行、低成本。
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