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氮化硅复合材料的制备方法及其制备的基板

613   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:24:02
本发明公开了一种氮化硅复合材料的制备方法，该方法包括：将P2O5、ZnO、NaF、B2O3混合制备成玻璃粉体；将所述玻璃粉体与氮化硅粉体混合制备成混合粉料；将所述混合粉料干压成型制备预烧结体；将所述预烧结体进行排胶和烧结制备成所述氮化硅复合材料。本发明还公开了利用该氮化硅复合材料制备的基板。本发明选用低介电常数NaF-ZnO-P2O5-B2O3系玻璃与氮化硅复合通过低温烧结制备致密的氮化硅复合材料，并将该氮化硅复合材料制备基板，该基板的介电常数可达4左右，介电损耗可达0.0008左右。
声明：
“氮化硅复合材料的制备方法及其制备的基板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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