本发明公开了一种具有复合陶瓷层的炭/炭
复合材料坩埚及其制备方法,所述炭/炭复合材料坩埚,由炭/炭复合材料坩埚基体以及附着于炭/炭复合材料坩埚基体内表面的复合陶瓷层组成,所述复合陶瓷层的厚度为1mm~5mm,所述复合陶瓷层中,按质量比计,组成如下:碳化硅50%~70%,氮化硼10%~40%,硅10%~20%,本发明的制备方法,具有复合陶瓷层的炭/炭复合材料坩埚基体采用分体式制备方法,先制备出复合陶瓷层坯体,再通过粘结剂进行粘结,然后再经过碳化及渗硅处理,使得炭/炭复合材料坩埚基体与复合陶瓷层成为整体,采用本发明的制备方法,可以获得足够厚的复合陶瓷层,从而有效地抑制硅蒸汽对炭/炭复合材料坩埚基体的侵蚀。
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