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显示基板及其制作方法、显示装置

650   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本发明公开一种显示基板及其制作方法、显示装置，涉及显示技术领域，为解决通过一次构图工艺同时形成层叠设置的两层功能图形时，无法实现上层功能图形和下层功能图形精确的尺寸对应关系，导致对显示基板的工作性能产生影响的问题。所述制作方法包括：在基底上依次形成层叠设置的第一过渡功能图形、第二过渡功能图形和光刻胶图形，光刻胶图形覆盖第二过渡功能图形的边缘区域；对光刻胶图形进行烘烤，使部分光刻胶图形覆盖第二过渡功能图形的侧表面；以烘烤后的光刻胶图形为掩膜，对第二过渡功能图形进行湿法刻蚀，形成第二目标功能图形，并对第一过渡功能图形进行刻蚀，形成第一目标功能图形。本发明提供的制作方法用于制作显示基板。
声明：
“显示基板及其制作方法、显示装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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