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晶体生长装置

839   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:09:02
本申请提供一种晶体生长装置，涉及功能材料领域，包括炉体、籽晶杆、坩埚单元和加热单元，坩埚单元与加热单元均设于炉体内，加热单元用于调节炉体内温度；坩埚单元包括保温罩、金属坩埚、内层耐高温坩埚、外层耐高温坩埚和垫块，金属坩埚嵌设于内层耐高温坩埚内，内层耐高温坩埚嵌设于外层耐高温坩埚内，垫块支撑于内层耐高温坩埚和外层耐高温坩埚之间；保温罩同时罩设于金属坩埚、内层耐高温坩埚、外层耐高温坩埚的开口侧；保温罩设有提拉孔，籽晶杆穿设于提拉孔内且与提拉孔活动配合。运行时，该结构能够减小晶体生长过程中坩埚的形变量，坩埚不易被损坏，使用寿命长，成本低。
声明：
“晶体生长装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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