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利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法

944   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:06:02
本发明涉及一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法,属于微电子技术领域。选取平的硬质衬底和柔性衬底,清洗、吹干、烘干,所述硬质衬底材料为石英片,所述柔性衬底材料为聚酰亚胺PI、对苯二甲酸乙二醇酯PET、或聚丙烯己二脂PPA;衬底粘合,利用粘合材料将硬质衬底和柔性衬底较好地粘合、固定,所述衬底粘合材料为光刻胶。本发明解决了柔性衬底材料在工艺过程中的弯曲、翘曲问题,同时,解决了衬底间产生气泡的问题。保证了柔性衬底在功能材料生长与器件制备过程中的平整度,可以应用于柔性可穿戴电子技术、柔性显示、柔性传感器、柔性太阳能电池等技术领域中。
声明:
“利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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