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溅射用辉光放电发生方法与装置

860   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:06:02
本发明涉及一种溅射用辉光放电发生方法与装置，属于光电功能材料制造方法及装置领域。基于传统设备使用方法，在工作气体气路安装辅助气路，阀门控制辅助气路的流量，实现生长室内氩气压强的快速转变，简化并加快辉光放电发生过程，达到节省气源（氩气）、提高效率、提高实验操作精度等目的。有益效果是对于工作气体用量快速方便的控制可以有效地减少原材料的消耗，降低制造成本；辅助气路操作简单、便于控制，简化了辉光放电发生过程的操作工艺。
声明：
“溅射用辉光放电发生方法与装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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