本发明的纳米薄膜材料及其制备方法属于纳米尖端材料及加工工程技术范畴,涉及金属材料、无机材料等领域。其特征在于是以易分解的大颗粒物质为原料,用高能束照射即可得到金属、金属化合物及无机
功能材料的纳米薄膜。该方法解决了实际生产、操作中许多急待解决的问题,实现了对形膜位置、形状的有效控制,为纳米薄膜技术的研究和应用开辟了新路。
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