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组合物、成膜方法及成膜装置、电光学装置及其制造方法

1088   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:31
提供一种把图案形成用材料液体化时,可以抑制气泡发生的液体组合物,以及用该组合物能以高生产率地形成膜图案的成膜装置。本发明的成膜装置,具有:生成含有有机功能材料、溶剂和表面活性剂的液体组合物生成装置S;向基板P喷出由液体组合物生成装置S生成的液体组合物构成的液滴的液滴喷出装置IJ。
声明：
“组合物、成膜方法及成膜装置、电光学装置及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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