合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 功能材料技术

> 半导体器件及制备方法、电子装置

半导体器件及制备方法、电子装置

857   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:31
本发明提供一种半导体器件及其制备方法和电子装置。所述方法包括：提供半导体衬底，在所述半导体衬底上形成有功能材料叠层和离子注入掩膜层；以所述离子注入掩膜层为掩膜对所述功能材料叠层进行离子注入；去除所述离子注入掩膜层；对所述功能材料叠层的表面进行清洗，所述清洗方法包括氨溶液‑过氧化氢溶液混合液的热清洗步骤、稀释HF的清洗步骤和O3清洗步骤。通过所述方法可以完全去除所述功能材料叠层上存在的残留物，解决目前工艺中的隆起缺陷(worse bump defect)。
声明：
“半导体器件及制备方法、电子装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
功能材料
上一个：共形电子皮肤
下一个：高温烟气热电子发射式颗粒物荷电装置

与 “半导体器件及制备方法、电子装置” 相关技术

▪ 降低铝电解阳极效应的控制方法
▪ 稀土绿色萃取分离技术
▪ 年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪ 低成本太阳能多晶硅制备技术
▪ 用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪ 具有除铁功能的粉碎机
▪ 具有防尘效果的振动筛下料装置
▪ 风机生产用自动冲拔一体机
▪ 粉碎机出料仓除尘结构
▪ 活性炭吸附过滤水循环利用装置

相关功能材料设备推荐

高速高精密激光切割机
低钠低吸油超细氢氧化铝微粉
碲丸
1000型金属废料不锈钢分选机
单温区真空管式炉CVD系统
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪降低铝电解阳极效应的控制方法
▪稀土绿色萃取分离技术
▪年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪低成本太阳能多晶硅制备技术
▪用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪具有除铁功能的粉碎机
▪具有防尘效果的振动筛下料装置
▪风机生产用自动冲拔一体机
▪粉碎机出料仓除尘结构
▪活性炭吸附过滤水循环利用装置

报名参会
更多+

先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
2024年07月19日 ~ 21日
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
7 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
8 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记