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沉积钨的金刚石粉以及复合铜粉的材料及其制备方法

868   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:21
本发明涉及一种在金刚石粉体上沉积钨的核壳材料的制备方法，包括：a，将金刚石粉体放入原子层沉积设备中，抽真空，设置温度为150～300℃，通入Si2H6；b，通入清扫气体吹扫过量的Si2H6及副产物；c，通入WF6；d，通入清扫气体吹扫过量的WF6及副产物；e，通入还原性前驱体；f，通入清扫气体吹扫过量的还原性前驱体及副产物；g，重复c～f步骤1～1000次，得到表面沉积钨的金刚石粉体核壳材料。使用本方法，金刚石粉体上的狭窄孔隙均可覆盖，通过控制沉积周期实现薄膜厚度的精确控制，涂层厚度达到纳米级别，同时，原子层间的原子依靠强烈的化学键连接，不会产生孔洞和裂隙，形成的涂层不易脱落，增强了金刚石与其他金属结合界面的润湿性。
声明：
“沉积钨的金刚石粉以及复合铜粉的材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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