本发明涉及一种带
石墨烯层的半导体激光器热沉,包括从下至上依次沉积的基体材料层、无氧铜层和石墨烯层,所述基体材料层采用的材料是氮化铝陶瓷、
氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅或氮化硼中的任意一种。本发明还对应给出了制作所述热沉的方法。本发明采用石墨烯层作为热沉的散热材料,充分利用石墨烯热导率高的物理特性,将半导体激光器工作时产生的热量传导出来并发散掉,能够在不增加半导体激光器重量、体积的情况下,大幅提高半导体激光器的散热能力,降低半导体激光器工作时的温度,保证半导体激光器的光电性能和可靠性,延长半导体激光器的寿命。
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