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等离子体增强化学气相沉积用碳化硅陶瓷舟及其制备方法

826   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:01:01
本发明提供了一种等离子体增强化学气相沉积用碳化硅陶瓷舟，包括碳化硅陶瓷舟体，所述碳化硅陶瓷舟体由形状为“U”形的基座、设置在所述基座左顶端的第一支撑架和设置在所述基座右顶端的第二支撑架一体成型而成，所述第一支撑架的顶部开设有第一卡槽，所述第二支撑架的顶部开设有第二卡槽，所述基座侧壁、第一支撑架和第二支撑架均为镂空结构。本发明还提供了一种制备上述等离子体增强化学气相沉积用碳化硅陶瓷舟的方法。本发明碳化硅陶瓷舟具有孔隙率低、高强度、轻质、高抗氧性、高抗震性等性能，并且其不与硅片反应，可广泛用于等离子体增强化学气相沉积镀膜领域。
声明：
“等离子体增强化学气相沉积用碳化硅陶瓷舟及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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