一种多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造 方法和使用方法。该气体吸收元件,是在陶瓷支撑体上沉积一 层气体吸收层,在气体吸收层上覆盖一层催化层,陶瓷支撑体 内部含 有加热层,气体吸收层的组成包括有Ti、Zr、V、La、Y、Ce、 Nd、Nb、Hf和Fe中的至少两种材料,催化层为催化金属的合 金薄膜,其含有Pd,和Ag、Ni、Cr、Cu和Al中的至少一种, 以及La、Y、Ce和Nb中的一种
稀土元素或它们的混合物,其 中,La、Y可以是单质或是其氧化物。陶瓷支撑体为烧结后陶 瓷多孔支撑体,其比表面积大于 1m2/g。催化层的上面设有多孔气 体透过网,在该吸收元件的外周设有封装外壳。采用烧结方法 制备陶瓷多孔支撑体;采用共蒸发方法沉积形成气体吸收层薄 膜;采用共溅射沉积法使气体吸收层薄膜上覆盖催化层合金薄 膜。该气体吸收元件能够在低温激活,是性能稳定的微型吸气 剂元件。
声明:
“多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造和使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)