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智能玻璃阴极电致变色层镀膜材料的制备方法

731   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:00:02
本发明公开了一种智能玻璃阴极电致变色层镀膜材料的制备方法，在制备智能玻璃阴极电致变色层氧化钨镀膜材料过程中，使用注浆成型的方式使各种氧化物充分混合均匀来提高靶材的致密度与均匀性来延长靶材使用寿命，并藉由添加第二种氧化物于氧化钨中，提高氧化钨材料的化学稳定性，并藉由烧结过程中的真空处理形成氧空缺使得材料具导电性有利于稳定溅镀，并且采用阶段升温烧结的工艺及在氩气中添加其他气体，不仅可以提高成膜速率及降低表面粗糙度，提高溅镀速率及降低薄膜粗糙度，提高设备的稼动率降低生产成本,大幅提高了氧化钨薄膜在电致变色器件中的应用性，满足了生产的要求,有利于市场的推广及产品的普及。
声明：
“智能玻璃阴极电致变色层镀膜材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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