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氧化钇稳定氧化铪真空镀膜材料的制法

1096   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:54
一种氧化钇稳定氧化铪的真空镀膜材料的制法，其特征是，包括以下步骤：1)以氧化铪和氧化钇粉料为原料，按摩尔比氧化铪：氧化钇＝73～98：2～27，均匀混合，然后添加聚乙烯醇结合剂使粉料团聚，造粒；2)对颗粒料进行预烧，预烧温度为1260℃；3)在真空烧结炉中烧结，真空度为1×10－2～1×10－4帕，升温速率为3～8℃/分钟，到达1700～2280℃时保温，保温时间为150分钟以上，然后自然冷却降温至室温。本发明能够解决传统氧化铪镀膜材料镀膜过程中的不稳定和折射率不均匀性问题，同时提高氧化铪薄膜的损伤阈值。
声明：
“氧化钇稳定氧化铪真空镀膜材料的制法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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