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重稀土金属靶材修复方法

1048   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:01
本发明提供了一种重稀土金属靶材修复方法，属于磁控溅射表面处理技术领域。本发明提供的重稀土金属靶材修复方法，包括以下步骤：将合金粉填充到待修复靶材的损耗区，采用真空烧结法或高压冷喷涂法进行修复；所述合金粉包括镝铽合金，或者，镝铽的一种或两种和两性金属中的一种或两种。本发明以合金粉为修复材料，采用真空烧结法或高压冷喷涂法进行修复，合金粉起到了钎焊作用，降低了后续靶材修复时的烧结温度，而且降低了磁片镀膜后的扩散温度，降低了修复难度和成本。本发明修复后的靶材组织有效解决了现有靶材表面产生缺陷后无法再利用的问题；且工艺简单、周期短、使用效果接近新靶材，具有良好的应用价值。
声明：
“重稀土金属靶材修复方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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