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钽钌合金靶材及其制备方法

1060   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:01
本发明涉及一种钽钌合金靶材的制备方法，包括依次进行的如下步骤：将钽粉和钌粉混合均匀后进行冷等静压压成块状，然后真空烧结；真空烧结之后再进行真空电子束熔炼获得高纯钽钌合金锭；将高纯钽钌合金锭进行径向热锻和退火处理；接着进行纵向墩粗和退火处理；然后进行热轧、冷轧、再结晶退火处理；最后将高纯钽钌合金锭与背板焊接即得所述的钽钌合金靶材。本发明将钽钌合金锭进一步滴熔成纯度更高、氧含量更低的高纯钽钌合金锭，在这过程中，一些低熔点的杂质可以通过挥发而被除去；另外，本发明通过径向热锻、纵向墩粗、热轧、冷轧等步骤，使得钽钌合金锭的晶粒小于100微米。
声明：
“钽钌合金靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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