本实用新型提供一种智能化靶材生产用真空烧结炉。所述智能化靶材生产用真空烧结炉包括底壳;外腔体,所述外腔体固定安装在所述底壳的顶部,所述外腔体的一侧开设有滑动槽,所述外腔体的一侧固定安装有限位块;
真空泵,所述真空泵固定安装在所述底壳的底部内壁上;排气管,所述排气管的一端设置在所述真空泵的出气口上,所述排气管的另一端延伸至所述底壳的外部;抽气管,所述抽气管的一端设置在所述真空泵的进气口上,所述抽气管的另一端与所述外腔体相连通,所述抽气管上设置有气阀。本实用新型提供的智能化靶材生产用真空烧结炉具有模具取出较为安全、模具更换较为方便,模具受热较为均匀的优点。
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