管式炉
炉管尺寸:外径φ50
加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Alloy doped by Mo)
加热区长度:440mm
恒温区长度:200mm(±1℃)
工作温度:1100℃
最高温度:1200℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
升温速度:20℃/min
炉门结构:开启式
工作电源:AC220V/50Hz
额定功率:3KW
射频电源
信号频率:13.56MHz±0.005%
功率输出范围:5W-500W
最大反射功率:200W
射频输出接口:5Ω,N-type,female
功率稳定度:±0.1%
谐波分量:-50dbc
供电电压:单相交流(187V-253V),频率50/60Hz
整机效率:≥70%
功率因素:≥90%
冷却方式:强制风冷
供气系统
外形尺寸:600*600*650mm
连接头类型:双卡套不锈钢接头
标准量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm
准确度:±1.5%
线性:±0.5%~1.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4Sec,电特性:10Sec
工作压差范围:0.1~0.5MPa
最大压力:3MPa
接口:φ6,1/4"
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管:φ6
压力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格
截止阀:φ6
低真空机组
技术参数:
功率:0.4KW(4级)
极限压力:5*10-1(Pa)
外型尺寸:600*600*650mm
电阻真空计参数:
1.配用规管:电阻规
2.测量范围:105—5*10-1Pa
3.测量路数:1路
4.控制范围:5*103—5*10-1Pa
5.控制方式:继电器触点输出,负载能力AC220V/3A(或DC28V/3A)无感负载
6.电源:90-260V/50Hz或220V±10% 50Hz
7.功耗:20W
预热炉
工作温度:350℃
最高温度:400℃
最快升温速率:30℃/min
推荐升温速率:10℃/min
控温方式:智能化30段可编程控制