本实用新型属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种石墨管取尾料式定向凝固提纯
多晶硅的设备。该设备外壁上安装有通气管路和水冷支撑杆,水冷坩埚安装于水冷支撑杆之上,水冷盘活动密封安装于真空腔室底部,石墨板置于水冷盘顶端,石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘嵌套连接,坩埚置于石墨托盘之上,石墨发热体套于坩埚外围,碳毡保温桶套于石墨发热体之外,石墨管活动安装于真空腔室顶端,石墨管上端封闭,下端开口。本实用新型的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加通气管道、石墨管和水冷坩埚,设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,另外,石墨管不仅能够对硅液进行加热而且可以多次重复利用,节约了成本。
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“石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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