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石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备

843   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:16
本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体中,将硅料熔化进行定向凝固;待凝固完成85~90%时,停止拉锭,将石墨管伸入剩余硅熔体中,向真空腔室通入惰性气体,使剩余硅熔体在压力差作用下进入石墨管,继续拉锭,待坩埚上端离开加热区后,将水冷坩埚伸至石墨管正下方,停止通入惰性气体,对真空腔室抽真空,石墨管中的剩余硅熔体下落至水冷坩埚中冷却凝固;切断电源,停止加热,坩埚中凝固得到的铸锭为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质反扩散,减少了工艺,提高了铸锭的出成率,该发明设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化生产。
声明:
“石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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