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氮化钛膜制备方法

864   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:13
本发明公开了一种氮化钛膜制备方法。本发明提供的利用真空电弧离子镀技术制备的氮化钛膜，通过对电弧离子镀技术中氮分压逐渐增强的沉积方式进行镀膜。该工艺方法设计合理，在粉末冶金材料GT35上通过克服材料变形、膜层内应力集中、膜层在锐边夹角容易崩落、长时间沉积厚膜等的种种难题，解决了氮化钛硬质膜厚度在8μm以上无法制备的现状，得到了膜层厚度、硬度、结合力等性能均优良的氮化钛膜。
声明：
“氮化钛膜制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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