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内嵌浮空N+区的LIGBT型ESD防护器件

588   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:06
本发明揭示了一种内嵌浮空N+区的LIGBT型ESD防护器件，ESD防护器件包括硅衬底，在硅衬底上设有埋氧层，埋氧层上设有漂移区，漂移区的左上方为漏极区，右上方为源极区；漂移区内中间引入浮空N+电荷区，在N‑buffer区中为漏极重掺杂P+区；在P‑body区中为源极重掺杂N+区，重掺杂P+区。本发明可解决现有技术中普遍存在的触发电压过高、维持电压过低、抗闩锁能力不足的技术问题，设计了一种内嵌浮空N+区的LIGBT型ESD防护器件，由于浮空重掺杂N+电荷区的存在，触发时器件击穿结P‑body/N‑epi结冶金结处电场分布得到调制，更易发生雪崩击穿，因此降低了触发电压。
声明：
“内嵌浮空N+区的LIGBT型ESD防护器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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