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多级压力快速烧结炉及其使用工艺

616   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:32
本发明公开了一种多级压力快速烧结炉及其使用工艺，涉及冶金技术及芯片封装互连技术领域。本发明的的多级压力快速烧结炉摒弃了传统烧结炉使用抽气装置抽除炉内空气，创新性地提出了通过液压系统直接往烧结炉内通液压油的方式排除烧结炉内空气的方法，通过使用液体(液压油)作为力传导介质不仅可以使样品承受稳定压力，避免加压过程中样品烧结层的破坏，且液体的导热率远远大于气体，能实现炉内快速升温，且本发明的多级压力快速烧结炉可灵活放置多个工作台，能够实现同时对多个样品进行烧结，并且通过节流阀，能使多个液压腔的压力从上至下依次递减，从而实现了对不同压力需求的多样品进行多级压力快速烧结。
声明：
“多级压力快速烧结炉及其使用工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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