合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 冶金技术

> 电冶金技术

> 基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法

基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法

927   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:26
本发明公开一种基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法：从上往下依次包括有薄膜掩蔽层、薄膜电阻结构、第一薄膜悬空隔离层、硅基底层和第二薄膜悬空隔离层；第一薄膜悬空隔离层衬于硅基底层上方，第二薄膜悬空隔离层衬于硅基底层下方，第一薄膜悬空隔离层的外表面上设有薄膜电阻结构；薄膜电阻结构包括薄膜测温电阻和薄膜加热电阻，薄膜加热电阻位于薄膜悬空隔离层的中心位置，薄膜测温电阻位于薄膜加热电阻延展方向的两侧；硅基底层上开设有反应刻蚀沟槽。本发明体积小，重量轻，精度高，响应速度快，功耗低，可批量生产等特点，预期可广泛应用于用于航空航天、交通、电力、冶金、节能减排等领域，具有极为广阔的应用前景。
声明：
“基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
电冶金技术
上一个：新型耐蚀耐磨耐高温合金材料及其制备方法
下一个：干熄焦炉耐火内衬双斜道及其砌筑的工艺方法

与 “基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法” 相关技术

▪ 移动式混汞提金设备固液分离装置
▪ 石墨选矿用烘干装置
▪ 保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪ 电加热回转烘干装置
▪ 环保工程污水处理超滤膜技术
▪ 强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

相关电冶金设备推荐

XL-B5E~B60EE系列棒销式砂磨机
FZGF新型方形真空干燥机
袋式过滤机
650度台车炉
浓缩过滤刮刀卸料离心机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪移动式混汞提金设备固液分离装置
▪石墨选矿用烘干装置
▪保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪电加热回转烘干装置
▪环保工程污水处理超滤膜技术
▪强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

报名参会
更多+

第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂资源综合利用关键技术
下载:181
2 绿色高效提炼稀有金属的研究
下载:148
3 我国主要有色金属湿法冶金技术现
下载:139
4 铜冶炼过程砷的控制和无害化处置
下载:128
5 铜冶金与钢铁基于双碳的学科融合
下载:113
6 矿相重构锂云母矿以同步提取锂铷
下载:109
7 双碳战略背景下的我国铜工业
下载:106
8 赤泥脱硫脱硝、回收铁铝及固化重
下载:105
9 硫代硫酸盐绿色提金及铜冶金固废
下载:103
10 铜熔炼及电解行业的新产品及新技
下载:101
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1钼污染处理研究进展
2从红土镍矿中回收有价金属及酸再生循环的方法
3生产磷酸铁的方法
4硫酸锰溶液除杂方法
5从镍铁合金中高效分离镍和铁的方法
6氧化镍矿熔融还原硫化生产低冰镍的方法
7氧化铜矿浸出方法
8用铜精矿直接制取硫酸铜和阴极铜的方法
9有色金属冶炼矿石清洗用的污泥收集装置
10电积镍生产线萃余液除油工艺
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记