合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 电冶金技术

> 钼合金溅射靶材的制备工艺

钼合金溅射靶材的制备工艺

1038   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:35
本发明属于高温难熔金属靶材制备领域,具体涉及一种钼合金溅射靶材的制备工艺,本发明采用粉末冶金方法制备,靶材所用原料包含合计原子百分比0.5%‑‑40%的Ga、Ni、Nd元素组中的至少一种元素和原子比0.5%‑‑40%的Ti作为掺杂金属,余量为Mo和不可避免的杂质;本发明经过原料配比、原料混合、胶套装粉定型、冷等静压作业、热等静压作业、热轧作业和机加工作业,得到最终所需产品尺寸;本发明工艺步骤简单,操作便捷,制备的钼合金溅射靶材耐氧化性、耐湿性、与PR胶的粘合力等各项技术指标优秀,可满足高端电子产品镀膜领域使用需求,且生产成本低,产品尺寸宽泛,便于工业化批量生产。
声明:
“钼合金溅射靶材的制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
电冶金技术
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记