一种以β-sialon陶瓷-玻璃为中间层的氮化硅陶瓷接头及其制备方法,它涉及一种氮化硅陶瓷接头及其制备方法。本发明要解决氮化硅陶瓷连接过程中由于陶瓷母材与焊料物理化学相容性差导致接头残余应力大的问题。本发明氮化硅陶瓷接头的中间层由β-sialon陶瓷相和玻璃相组成。方法:一、将Si3N4、AlN、SiO2、Al2O3和金属元素M的氧化物经湿混、烘干得混合粉末;二、将混合粉末压实夹在两块待接氮化硅陶瓷表面或用少量无水乙醇混合制成均匀糊状后涂覆在两块对接的氮化硅陶瓷表面,置于石墨夹具,在热压炉中加热并施加压力,即得。本发明的氮化硅陶瓷接头工艺简单、成本低、效率高、重复性好。应用于化工、冶金等领域。
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