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强磁场热压制备金属靶材的装置及方法

734   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:18
一种强磁场热压制备金属靶材的装置及方法，属于粉末冶金技术领域。其制备装置，包括压头、模具、上下移动压杆、超导磁体、加热器、冷却水管道和支座；采用上述装置，制备方法包括如下步骤：(1)备料：称量金属粉；(2)装填；(3)磁场热压：磁场强度为0.5～6T；温度为200～1600℃，压力为10～80MPa，热压20～200min，空冷至室温，制得金属靶材；(4)机械加工：将金属靶材进行机械加工，制得表面光滑、平整的金属靶材。本方法将强磁场取向引入到热压工艺制备金属靶材工艺中，利用热压获得高密度；利用强磁场使金属粉的易磁化轴，朝磁场方向转动，从而获得具有良好取向。通过热压和强磁场的复合效应获得具有高密度、强织构的高质量磁控溅射靶材。
声明：
“强磁场热压制备金属靶材的装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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