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在表面上预先固定半导体芯片的方法、制造半导体器件的方法和半导体器件

668   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:17
说明了一种用于在表面(20)上固定半导体芯片(10)的方法,其中在所述半导体芯片(10)的安装面上施加焊料连接(30),在所述焊料连接(30)的背离安装面的侧上施加金属粘接层(40),将所述表面(20)预热到温度T1,将所述金属粘接层(40)以固态与经过预热的表面(20)机械接触,其中所述金属粘接层(40)在与经过预热的表面(20)机械接触时至少部分熔化,然后将所述表面(20)冷却至室温,其中所述半导体芯片(10)至少部分冶金地预先连接到所述表面(20),其中所述焊料连接(30)在所述金属粘接层(40)冶金连接到所述表面(20)期间保持固态。在所述焊料连接(30)和所述金属粘接层(40)之间可以施加阻挡层(50)。所述表面(20)可以包括印刷电路板或壳体的安装面。此外还说明了一种用于制造半导体器件的方法以及一种半导体器件,其中将如上所述预先固定在所述表面(20)上的半导体芯片(10)焊接到所述表面(20)上以形成最终得到的焊料连接(60),其中在所述焊接时完全熔化所述焊料连接(30)和所述金属粘接层(40),并且形成最终得到的焊料连接(60),所述最终得到的焊料连接包括在其组成方面与所述焊料连接(30)和所述金属粘接层(40)不同的合金。如果存在阻挡层(50),则阻挡层在焊接期间同样溶解并且在最终得到的焊料连接(60)内形成相。
声明:
“在表面上预先固定半导体芯片的方法、制造半导体器件的方法和半导体器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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