一种靶材的焊接检测方法,包括:提供靶材与背板焊接后形成的具有开口的靶材组件;将所述靶材组件的开口密封后形成密闭空间;向所述密闭空间中充入气体;通过在所述靶材组件的外侧焊接处检测所充入气体的渗出量判定焊接质量是否合格。本发明技术方案能解决对由
粉末冶金材料的靶材所形成的具有开口的靶材组件进行焊接检测时,冶金材料本体粉末进入检测设备的问题,由此避免了对检测设备造成损坏以及对检测精度的影响。
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