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金属硅化物的表面改性方法、利用表面改性的金属硅化物的三氯硅烷的制备方法及装置

589   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:45:27
根据本发明的实施例的三氯硅烷的制备方法包括：向反应部供给表面改性的金属硅化物和冶金级硅的步骤；向所述反应部供给四氯硅烷和氢的步骤；以及，将在所述反应部内，在所述金属硅化物的存在下，由冶金级硅、四氯化硅烷和氢之间的反应生成的生成物，供给到分离部，分离三氯硅烷成分的步骤。利用根据本发明实施例的三氯硅烷的制备方法进行四氯硅烷氢氯化反应时，能够提高三氯硅烷的收率。
声明：
“金属硅化物的表面改性方法、利用表面改性的金属硅化物的三氯硅烷的制备方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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