一种高致密(LaxCa1-x)B6固溶体多晶阴极材料及其制备方法,属于
稀土、碱土硼化物阴极材料技术领域。本发明所提供的方法以LaB6和CaB6粉末为原料,采用球磨、真空热压烧结,最高烧结温度1700-1900℃,合成(LaxCa1-x)B6固溶体多晶,其中,0.1≤x≤0.9,该方法将多元稀土、碱土金属硼化物粉末合成和烧结致密化两个过程合二为一,简化制备流程,提高致密度和发射性能,且降低生产成本,适合工业生产和应用。根据本发明提供的制备方法获得的(LaxCa1-x)B6固溶体多晶阴极材料具有单相、高致密度的特点,可应用于等离子体源、电子束焊机、电子束曝光机、场发射阵列等设备中。
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