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氢气传感器用薄膜材料及其制备方法

1127   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:12
本发明公开了一种氢气传感器用薄膜材料,包括基片、合金薄膜材料和保护薄膜;基片和保护薄膜夹覆着合金薄膜材料。也公开了一种氢气传感器用薄膜材料的制备方法。本氢气传感器用薄膜材料,其中的合金薄膜材料由亚微米或纳米晶组成,可重复使用、响应速度快、灵敏度高、测量范围广、也不需要经常校核,本薄膜材料可制备成一种轻便型固态氢气传感器,能耗低,实用范围广,不受检测环境约束,测量的氢气浓度范围广,由于合金薄膜材料粒度小(大约为100NM左右),对氢气敏感性高,因而灵敏度好。
声明：
“氢气传感器用薄膜材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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