本发明公开了一种直流电场诱导合金定向凝固生长、强化合金精炼过程的工艺:将Si?M母合金加热至相应的液相线温度,得到Si?M合金熔体,在Si?M合金熔体中引入直流电场使Si?M合金熔体中的硅原子发生定向移动,在
石墨坩埚的底部富集,形成过饱和区域,从而在晶硅衬底上形核、生长;在生长过程中,由石墨坩埚顶部连续添加原料硅,实现晶体硅的连续生长。生长结束后,关闭热源,冷却凝固后关闭直流电源。本发明实现高精准度的定向生长模式,有效降低了精炼温度,以及各种杂质的分凝系数,减少能耗,增强了提纯效果,使不同杂质在电场作用下重新分布,通过不断添加原料硅,在凝固析出硅的同时能源源不断地提供硅原子,实现硅的连续生长。
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