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镍铂合金溅射靶材及其制备方法

888   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:32:47
本发明公开了一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法，其技术方案是：包括铂粉和镍粉，所述铂粉和镍粉质量份数为：铂粉05‑65份，镍粉35‑95份。包括以下步骤：S1：将铂粉和镍粉混合均匀，并过滤大颗粒杂质，保留大小均等的粉末状颗粒；S2：将S1中过滤后保留下来的粉末颗粒倒入酒精内浸泡清洗，一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法有益效果是：通过使用粉末冶金的方式，区别于传统的熔炼方法，粉末冶金得到的镍铂合金靶材具有更好的致密度，在实际使用测试中，其与基材拥有更好的附着性能，使用更加方便可靠，同时粉末冶金相对于传统熔炼方法，使得其制备成本大大降低，制备步骤得到极大优化，提高了制备效率，简化了制备流程，从而提高其经济效益。
声明：
“镍铂合金溅射靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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