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3通道CVD设备

3通道CVD设备

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规格/型号:KJ-T1600 -3M
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::177-3714-9370(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-29
级别:待认证

3通道CVD设备说明介绍

3通道CVD设备

设备介绍

KJ-T1600 CVD 是一种管式炉,具有 80mm 直径的氧化管和三通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品优势

刚玉材质炉管

炉管采用刚玉材质,工作温度可达1500度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好

控温精度可达±1℃

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

触屏操作简单快捷

采用触屏操作系统,数据可存储可通过EXCEL输出

技术参数

产品名称 3通道CVD设备

型号 KJ-T1600 -3M

管式炉部分

显示 液晶触摸屏

最高温度 1600℃

工作温度 ≤1500℃

升温速率 建议0~10℃/min

温区 300mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 硅钼棒

热电偶 B型

温度控制精度 ±1℃

炉管尺寸 外径80mm*长度1000mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

材质:刚玉

塞砖 包括两个纤维陶瓷块,用于阻挡来自管内的热辐射(陶瓷块必须在加热前完全插入炉腔)

温度控制 PID自动控制

真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰

质量流量计(液晶触摸屏)

三台精密质量流量计: MFC 1:气体流量范围0~100 sccm MFC 2:气体流量范围0~200 sccm MFC 3:气体流量范围0~200 sccm (气体流量范围可根据您的要求) 底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合。
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