江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 加工设备

> 六通道PECVD设备

六通道PECVD设备

六通道PECVD设备

浏览量 574
规格/型号:KJ-PECVD-LM
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-30
级别:待认证

六通道PECVD设备说明介绍

六通道PECVD设备

设备介绍

该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。该PECVD管式炉通过射频电源将石英真空室中的气体改变为离子状态,等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长。

产品优势

更好的沉积效率

PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

所需温度更低

PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

成品质量好

具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

技术参数

型号 KJ-PECVD-LM

管式炉部分

Display 触摸屏

连续工作温度.

≤1100℃第一温区

≤1100℃第二温区

≤1600℃第三温区

升温速率 建议: 0~10℃/min

温区 220mm+220mm+220mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 硅碳棒和硅钼棒

热电偶 N型和B型

温度控制精度 ±1℃

炉管尺寸 直径:80 *长度:1600mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

材料:氧化

温度控制 通过SCR功率控制的PID自动控制

倾斜功能 0-15度

(不建议在1100C温度下使用倾斜功能,因为硅钼棒加热元件可能容易损坏。高温时会变软,请注意。)

加热曲线 30步可编程

真空法兰

带阀门的不锈钢真空法兰

右侧法兰为滑动式。

法兰应为水冷式。

等离子射频

功率范围 0-300W(连续可调)

控制模式 手动

工作频率 13.56MHz

报警保护 直流过载保护、直流/放大器过热保护、反射功率保护、匹配超时保护

射频输出阻抗接口(50Ω) N型

功率稳定性 ≤ 1 W

最大反射功率 200 W

真空泵系统

分子泵系统 极限真空:6.7*10-3Pa。包括数字真空计

质量流量计(LCD触摸屏) 六个精密质量流量计:MFC精度为:±1.5%F.S。

17MHZ超声波雾化

配超声波雾化器,液体可雾化成液体颗粒并引入管式炉。

•液体罐标配不锈钢,并用氟橡胶密封件密封;

•雾化量大小可控制;

液体注入系统

•一套用于自动液体供给的标准液体注入泵

•注射泵配有注射器,用于容纳液体;

•注射泵速度可调节

水冷却器 用于冷却水冷法兰和真空泵。
点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价
上一个: CVD 化学气相沉积系统 下一个: 高温箱式炉
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 金属百科 | 锑的历史与发展 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 钨矿——工业之基,战争金属之王 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司
河南鸿炉机械设备有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
材料制备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
17737149370
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.236369s