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小型CVD管式炉

小型CVD管式炉

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规格/型号:KJ-T1200-S50-3Z
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::177-3714-9370(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-29
级别:待认证

小型CVD管式炉说明介绍

小型CVD管式炉

设备介绍

KJ-T1200-S50-3Z迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。配有三路质量流量计混气气路,配有真空泵真空可达10pa,准确的PID程序多段程序控温,本系列高温CVD设备适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。

产品优势

PID多段程序控温

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

高纯石英炉管

炉管采用高纯石英材质,耐高温耐酸碱腐蚀,透明材质方便观察样品反应情况

加热效率高

加热元件采用含钼合金加热丝,加热速率快,耐高温、抗氧化耐腐蚀

技术参数

型号 KJ-T1200-S50-3Z

炉管直径 Φ50mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热区 200mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

温度温度 最高1200℃,工作温度≤1100℃

加热速率 建议≤10℃/min

控温精度 ±1℃

加热元件 含钼电阻丝

控制方式 PID智能化多段程序控温

炉管材质 石英管

气路系统

三路质量流量计:手动智能控制,数字显示,;

1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可调

2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制3种气体;

3.进出气口:3进1出

真空系统 真空泵,抽速2.2L/S,真空度可达10pa,真空度数显示在数显真空计上

注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

质保 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)
         
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